產(chǎn)品資料
美國(guó) Exicor HD 系列雙折射測(cè)量光學(xué)儀器
產(chǎn)品名稱(chēng): 美國(guó) Exicor HD 系列雙折射測(cè)量光學(xué)儀器
產(chǎn)品型號(hào): Exicor® HD 系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 美國(guó) Exicor HD 系列雙折射測(cè)量光學(xué)儀器，是專(zhuān)為重型大尺寸樣品打造的高精度雙折射檢測(cè)設(shè)備。基于核心的低級(jí)別雙折射測(cè)量技術(shù)與 PEM 光彈性調(diào)制器，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)測(cè)量精度，全鋼底座結(jié)構(gòu)支持最高 5.4 噸、2 米見(jiàn)方的超大樣品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、光掩膜、大型光學(xué)元件的雙折射與應(yīng)力檢測(cè)。
美國(guó) Exicor HD 系列雙折射測(cè)量光學(xué)儀器 的詳細(xì)介紹
美國(guó) Exicor HD 系列雙折射測(cè)量光學(xué)儀器
美國(guó) Exicor HD 系列雙折射測(cè)量光學(xué)儀器
核心技術(shù)與性能優(yōu)勢(shì)
Exicor® HD 系列基于 Hinds Instruments 的 PEM（光彈性調(diào)制器）雙折射測(cè)量技術(shù)，突破傳統(tǒng)設(shè)備的測(cè)量局限，實(shí)現(xiàn) 0.005 nm 級(jí)的超高精度雙折射檢測(cè)。全鋼底座的重型設(shè)計(jì)，解決大尺寸、大重量樣品的測(cè)量穩(wěn)定性問(wèn)題，確保從 400mm 到 2000mm 全規(guī)格樣品的測(cè)量精準(zhǔn)性。
半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)屬應(yīng)用
設(shè)備專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)打造，適配半導(dǎo)體晶圓、光掩膜的雙折射與應(yīng)力檢測(cè)，自動(dòng)化掃描軟件可快速完成常規(guī)評(píng)估，為半導(dǎo)體制造工藝優(yōu)化提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。同時(shí)支持定制化波長(zhǎng)、高分辨探頭，滿(mǎn)足不同工藝環(huán)節(jié)的檢測(cè)需求。
全場(chǎng)景檢測(cè)能力
除半導(dǎo)體行業(yè)外，設(shè)備還廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、玻璃、聚合物等材料的雙折射與應(yīng)力分布檢測(cè)，覆蓋從科研實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)生產(chǎn)線的全場(chǎng)景需求。靈活的加載方式與多規(guī)格型號(hào)，可根據(jù)客戶(hù)樣品尺寸、重量定制化選型。
操作與維護(hù)
設(shè)備搭載直觀的自動(dòng)化掃描軟件，操作簡(jiǎn)單，無(wú)需專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)即可上手；全鋼結(jié)構(gòu)耐用性強(qiáng)，維護(hù)成本低，僅需定期校準(zhǔn)即可保持長(zhǎng)期穩(wěn)定的測(cè)量性能，適配工業(yè)化連續(xù)檢測(cè)需求。
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