Filgen Os Plasma Coater 鋨等離子鍍膜機(jī)
Filgen Os Plasma Coater 鋨等離子鍍膜機(jī)
是日本 Filgen 推出的 SEM 樣品前處理設(shè)備,采用直流等離子 CVD 技術(shù),解決了傳統(tǒng)濺射、金蒸鍍的顆粒性、熱損傷、環(huán)繞性差等痛點(diǎn),為掃描電鏡樣品提供高質(zhì)量的導(dǎo)電薄膜制備方案。
該設(shè)備采用直流輝光放電負(fù)輝光區(qū)等離子體 CVD 法,在真空腔室內(nèi)引入少量氣體,通過輝光放電瞬間形成等離子體,在樣品表面沉積非晶質(zhì)的鋨導(dǎo)電薄膜。與傳統(tǒng)濺射、金蒸鍍相比,該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了四大核心突破:無顆粒性,非晶質(zhì)薄膜無顆粒,SEM 成像清晰,還原樣品表面細(xì)節(jié);無熱損傷,常溫制膜,無加熱步驟,避免樣品熱變形、開裂;高環(huán)繞性,氣體滲透式鍍膜,覆蓋凹凸、孔洞結(jié)構(gòu),無充電陰影;高安全性與重現(xiàn)性,全自動(dòng)操作,任何人都可穩(wěn)定制備一致的薄膜,杜絕人為誤差。
廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、高分子化學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域,為 SEM 掃描電鏡觀察提供高質(zhì)量的樣品前處理,尤其適用于生物樣品、熱敏性樣品、多孔結(jié)構(gòu)樣品的導(dǎo)電鍍膜,是電鏡實(shí)驗(yàn)室的核心配套設(shè)備。
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