產(chǎn)品資料
數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置
產(chǎn)品名稱: 數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置
產(chǎn)品型號(hào): GM系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置日本 Tokyokeiki（東京計(jì)機(jī)）PMG-1A 是一款 高穩(wěn)定性、數(shù)字式、內(nèi)置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體 按設(shè)定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續(xù)混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于 半導(dǎo)體工藝、燃料電池測(cè)試、傳感器校準(zhǔn)、生物發(fā)酵、催化劑評(píng)價(jià) 等需要 長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定混合氣 的場(chǎng)合
數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置 的詳細(xì)介紹
數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置
數(shù)字式用于半導(dǎo)體工藝穩(wěn)定氣體混合裝置
日本 Tokyokeiki（東京計(jì)機(jī)）PMG-1A 是一款 高穩(wěn)定性、數(shù)字式、內(nèi)置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體 按設(shè)定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續(xù)混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于 半導(dǎo)體工藝、燃料電池測(cè)試、傳感器校準(zhǔn)、生物發(fā)酵、催化劑評(píng)價(jià) 等需要 長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定混合氣 的場(chǎng)合。
? 產(chǎn)品定位
| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 |
|---|---|
| 型 號(hào) | PMG-1A（Programmable Mixer Gas） |
| 用 途 | 工藝用混合氣在線配制 / 實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)氣發(fā)生 |
| 通道數(shù) | 2 或 3 路（可擴(kuò)展至 5 路） |
| 控制方式 | 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）+ PID 反饋 |
| 特 點(diǎn) | ±0.1 % 混合比、內(nèi)置觸摸屏、RS-485 / 以太網(wǎng)、無(wú)脈沖** |
?? 核心規(guī)格
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 混合比范圍 | 0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %） |
| 混合精度 | ±0.1 % F.S.（與 MFC 精度疊加） |
| 輸出流量 | 10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min） |
| MFC 精度 | ±1 % S.P.（可選 ±0.5 %） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 2 s 到達(dá) 90 % 設(shè)定值 |
| 輸出壓力 | 0–0.5 MPa（背壓可調(diào)） |
| 氣體種類 | N?、Air、H?、Ar、He、O?、CO?、CH? 等（腐蝕性選不銹鋼） |
| 接氣口 | 1/4″ Swagelok 雙卡套（可選 6 mm 快擰） |
| 密封材質(zhì) | Viton（標(biāo)準(zhǔn)），可選 PTFE、金屬密封 |
| 電源·功耗 | AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W |
| 通訊接口 | RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON） |
| 內(nèi)置屏幕 | 5 寸彩色觸控，實(shí)時(shí)流量、比例、趨勢(shì)曲線 |
| 記錄功能 | 8 GB 閃存，>10 年分鐘數(shù)據(jù) |
| 外形·重量 | 430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg |
| 安裝方式 | 19″ 3U 機(jī)架 / 臺(tái)式 / 壁掛 |
?? 控制模式
- 定比模式 | 設(shè)定 A/B/C 比例，自動(dòng)平衡總流量。
- 定流模式 | 總流量固定，改變其中一路比例。
- 程序模式 | 16 段可編程序，支持斜坡、保持、循環(huán)（適合催化劑升溫評(píng)價(jià)）。
- 遠(yuǎn)程模式 | Modbus TCP，PLC/工控機(jī)實(shí)時(shí)改寫比例。
?? 典型應(yīng)用
| 行業(yè) | 混合氣 | 用途 | 結(jié)果 |
|---|---|---|---|
| 半導(dǎo)體 | N?/H? (5 %) | 退火氣氛 | 比例波動(dòng) < 0.05 %，提升良率 |
| 燃料電池 | H?/空氣 (30 %) | 單電池測(cè)試 | 背壓 0.4 MPa，穩(wěn)定 200 h |
| 傳感器校準(zhǔn) | CO?/N? (0–2000 ppm) | NDIR 標(biāo)定 | 線性相關(guān)系數(shù) R2=0.9998 |
| 生物發(fā)酵 | Air/CO?/O? | 溶氧控制 | 減少鋼瓶數(shù)量 70 % |
| 催化劑 | CH?/He (10 %) | 升溫還原 | 程序升溫 16 段自動(dòng)切換 |
?? 穩(wěn)定性數(shù)據(jù)（實(shí)測(cè)）
- 24 h 漂移 | 比例變化 < 0.03 % F.S.
- 溫度系數(shù) | < 0.01 % / ℃（-10–50 ℃）
- 重復(fù)性 | 同一比例 10 次，RSD < 0.05 %
日本 Tokyokeiki（東京計(jì)機(jī)）PMG-1A 是一款 高穩(wěn)定性、數(shù)字式、內(nèi)置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體 按設(shè)定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續(xù)混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于 半導(dǎo)體工藝、燃料電池測(cè)試、傳感器校準(zhǔn)、生物發(fā)酵、催化劑評(píng)價(jià) 等需要 長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定混合氣 的場(chǎng)合。
? 產(chǎn)品定位
| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 |
|---|---|
| 型 號(hào) | PMG-1A（Programmable Mixer Gas） |
| 用 途 | 工藝用混合氣在線配制 / 實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)氣發(fā)生 |
| 通道數(shù) | 2 或 3 路（可擴(kuò)展至 5 路） |
| 控制方式 | 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）+ PID 反饋 |
| 特 點(diǎn) | ±0.1 % 混合比、內(nèi)置觸摸屏、RS-485 / 以太網(wǎng)、無(wú)脈沖** |
?? 核心規(guī)格
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 混合比范圍 | 0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %） |
| 混合精度 | ±0.1 % F.S.（與 MFC 精度疊加） |
| 輸出流量 | 10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min） |
| MFC 精度 | ±1 % S.P.（可選 ±0.5 %） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 2 s 到達(dá) 90 % 設(shè)定值 |
| 輸出壓力 | 0–0.5 MPa（背壓可調(diào)） |
| 氣體種類 | N?、Air、H?、Ar、He、O?、CO?、CH? 等（腐蝕性選不銹鋼） |
| 接氣口 | 1/4″ Swagelok 雙卡套（可選 6 mm 快擰） |
| 密封材質(zhì) | Viton（標(biāo)準(zhǔn)），可選 PTFE、金屬密封 |
| 電源·功耗 | AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W |
| 通訊接口 | RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON） |
| 內(nèi)置屏幕 | 5 寸彩色觸控，實(shí)時(shí)流量、比例、趨勢(shì)曲線 |
| 記錄功能 | 8 GB 閃存，>10 年分鐘數(shù)據(jù) |
| 外形·重量 | 430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg |
| 安裝方式 | 19″ 3U 機(jī)架 / 臺(tái)式 / 壁掛 |
?? 控制模式
- 定比模式 | 設(shè)定 A/B/C 比例，自動(dòng)平衡總流量。
- 定流模式 | 總流量固定，改變其中一路比例。
- 程序模式 | 16 段可編程序，支持斜坡、保持、循環(huán)（適合催化劑升溫評(píng)價(jià)）。
- 遠(yuǎn)程模式 | Modbus TCP，PLC/工控機(jī)實(shí)時(shí)改寫比例。
?? 典型應(yīng)用
| 行業(yè) | 混合氣 | 用途 | 結(jié)果 |
|---|---|---|---|
| 半導(dǎo)體 | N?/H? (5 %) | 退火氣氛 | 比例波動(dòng) < 0.05 %，提升良率 |
| 燃料電池 | H?/空氣 (30 %) | 單電池測(cè)試 | 背壓 0.4 MPa，穩(wěn)定 200 h |
| 傳感器校準(zhǔn) | CO?/N? (0–2000 ppm) | NDIR 標(biāo)定 | 線性相關(guān)系數(shù) R2=0.9998 |
| 生物發(fā)酵 | Air/CO?/O? | 溶氧控制 | 減少鋼瓶數(shù)量 70 % |
| 催化劑 | CH?/He (10 %) | 升溫還原 | 程序升溫 16 段自動(dòng)切換 |
?? 穩(wěn)定性數(shù)據(jù)（實(shí)測(cè)）
- 24 h 漂移 | 比例變化 < 0.03 % F.S.
- 溫度系數(shù) | < 0.01 % / ℃（-10–50 ℃）
- 重復(fù)性 | 同一比例 10 次，RSD < 0.05 %
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