真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計
真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計
真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計
氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離，可直接插入真空腔，無需采樣泵
測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
標配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線
氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離，可直接插入真空腔，無需采樣泵
測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
標配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線
氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離，可直接插入真空腔，無需采樣泵
測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
標配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線
氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離，可直接插入真空腔，無需采樣泵
測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
標配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線
氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離，可直接插入真空腔，無需采樣泵
測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
標配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線
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測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
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測量范圍 10 ppm–100 %O?，響應 T??＜1 s
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