在精密加工、光學(xué)檢測、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,薄型、脆性、非磁性工件的無損傷夾持,一直是保障加工精度與產(chǎn)品品質(zhì)的核心環(huán)節(jié)。日本 ERON 鍋屋推出的 CAT 系列多孔陶瓷真空吸附臺,以氧化鋁多孔陶瓷為核心吸附面,搭配 SUS303 不銹鋼基座,通過均勻微細(xì)的氣孔產(chǎn)生穩(wěn)定負(fù)壓,實(shí)現(xiàn)工件的快速、無變形、無扭曲吸附,成為精密加工場景中工件夾持的解決方案。
CAT 系列涵蓋方形 CAT-S (M) 與圓形 CAT-R (M) 兩大基礎(chǔ)類型,同時提供豐富尺寸規(guī)格可選,從 70×70mm 小型臺到 330×300mm 大型臺,覆蓋不同大小工件的夾持需求,適配多樣化加工場景。全系采用一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計,吸附面經(jīng)過 15/25μm 高精度平面度處理,搭配均勻且微細(xì)的氣孔,可產(chǎn)生穩(wěn)定且均勻的吸附力,從根源上避免傳統(tǒng)夾具對工件造成的夾傷、形變與扭曲,尤其適合玻璃、晶圓、樹脂、鋁銅等非磁性、脆性工件的加工與檢測。
該系列針對不同工件特性,提供 55μm 與 2μm 兩種氣孔直徑可選。55μm 氣孔類型適合需要校正扭曲的工件,可通過屏蔽接觸面外的吸附面增強(qiáng)吸力,校正扭曲進(jìn)行吸附;2μm 氣孔類型則專為剛性較弱的工件設(shè)計,無需屏蔽即可直接吸附,在尺寸更改與多工件排列方面表現(xiàn)出色,靈活適配不同加工需求。
CAT 系列擁有優(yōu)異的耐用性與潔凈性,吸附面采用氧化鋁多孔陶瓷,硬度高、耐磨性優(yōu)異,能夠長期保持尺寸精度,運(yùn)行穩(wěn)定可靠。利用負(fù)壓吸附的工作原理,不會產(chǎn)生粉塵,適配潔凈室環(huán)境,同時使用溫度范圍覆蓋 0℃至 80℃,可在廣泛溫度環(huán)境中穩(wěn)定使用。基座采用 SUS303 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕性優(yōu)異,可在各類復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中使用,維護(hù)便捷,使用壽命長。
設(shè)備的自動化適配性強(qiáng),僅需通過外接真空發(fā)生器或真空泵控制氣路,即可實(shí)現(xiàn)工件的快速夾緊與松開,可直接集成到自動化設(shè)備中,實(shí)現(xiàn)夾松操作的自動化,適配產(chǎn)線批量加工需求,大幅提升生產(chǎn)效率。操作流程簡單便捷,僅需連接真空裝置、放置工件、啟動真空即可完成吸附,加工完成后停止真空即可取下工件,無需復(fù)雜操作,降低使用門檻。
從半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓、玻璃基板加工夾持,到光學(xué)領(lǐng)域的鏡片、透鏡檢測夾持,再到精密機(jī)械加工中的非磁性工件銑削、磨削,CAT 系列多孔陶瓷真空吸附臺憑借無損傷、高精度、高耐用、易自動化的核心優(yōu)勢,成為精密加工領(lǐng)域的夾持工具,為產(chǎn)品精度與品質(zhì)保駕護(hù)航。
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