超快光學相干斷層掃描 3D 測量傳感器測試原理分析

在白光干涉測量中，光源發出的光被分束器分成兩束，一束被目標反射，另一束被參考鏡反射，然后進入傳感器。當這兩個光程長度接近相同值時，就會發生光干涉，亮度變化（幅度）增大。繪制光線最有建設性的點并將它們拼接在一起形成一個大波浪。這股巨浪的波峰點，會準確的代表到目標的距離。通過改變 3D 測量設備的高度或改變參考鏡的位置，找到兩個光程長度相等的點。

為了準確地重建大波浪的形狀，需要準確地獲取光線具有建設性的點，而這需要獲取大量的層析圖像。因此，使用普通傳感器的測量時間會變得很長。heliInspect 系列使用創新的傳感器技術來顯著減少測量時間。

1、超高速信號測量

• 每秒高達 100 萬次信號測量 = 相當于 100 萬 fps 的相機

• 高速移動載物臺時瞬時采集干涉波形

2.智能傳感器

• 每個元件都有處理電路，采集到的信號在元件上進行分析

• 干擾波形包絡的采樣數據以5000幀/秒的速度輸出到后級

3.FPGA

• 相機內部后級FPGA高速運算檢測干擾峰

• 最后只輸出以表面高度信息為亮度值的圖像。

產品形態

Ultra-heliotis 的超高速傳感器有以下兩種形式。

heliInspect H9/H8/H6/H4

heliInspect H 系列是一種測量單元類型，可將測量所需的組件（例如傳感器、光學系統和 Z 載物臺）封裝在一個緊湊的外殼中。
可根據所需的視野/水平分辨率進行選擇，可用于在線測量應用和研究應用等廣泛的應用領域。

heliCam C4