Profilm3D 3D表面形狀測量系統的測量示例

測量示例

 

粗糙度測量

測量硅襯底上的粗糙度。可以測量符合 ISO 的線粗糙度 (R) 和表面粗糙度 (S)。

 

不均勻形狀的測量

測量銅基板上納米級的不均勻性。可以一次測量1平方毫米區域內納米級的不均勻形狀。

鏡片形狀

測量鏡片的形狀。您可以高精度地觀察所表達的形狀。

步進測量

測量雙焦鏡片的水平差。

它是一個使用白光干涉技術的系統，可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產品更緊湊、更便宜。
多種測量模式，包括垂直掃描干涉法 (WLI)，適合微米級臺階和形狀的高精度測量，相移干涉法 (PSI)，適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡、自動載物臺以及便于操作和分析和管理測量數據的軟件。

主要用途